五年前那位荷兰专家的看法,现在看来挺准的。他在2021年说中国能在三年内搞定7nm量产,还会往5nm冲。那时候全球芯片供应链正乱,美国从2019年起就开始压荷兰不让ASML卖EUV设备给中国。
专家觉得要是没这些限制,中国用5到10年就能赶上国际水平。他主要看中中国企业把7nm当成常规工艺,通过大批量生产来分摊成本,提高效率。结果呢,到2023年SMIC真就用DUV多重图案化技术出了7nm芯片,用在华为手机上。
专家叫瑞尼·雷吉梅克,是荷兰Techwatch公司的头,也是高科技学院的董事。他那次访谈在Bits&Chips杂志上,聊ASML怎么垄断EUV市场。ASML从1984年起步,靠台积电的钱和技术支持,加上英特尔和美国能源部的联盟,把日本尼康和佳能挤出去。
美国企业早年做光刻机时太傲慢,客户出问题就怪人家不会用,结果市场丢给日本人。后来日本人服务好,但ASML有政策帮衬,收购了美国光源公司和德国光学集团,确保零件整合顺畅。
访谈里他提全球光刻机格局,三家主导:ASML第一,日本佳能尼康第二,中国还在追。德国蔡司试过自己做,但觉得周期长不赚钱,就专供光学系统。中国不一样,国家政策死盯国产设备,避免了傲慢和短视问题。2024年他们出了新一代干式DUV,技术比90nm老设备强多了。专家对中国的态度保守,说资金和知识够,但设备稳定性是关键。要是设备齐了,中国晶圆厂马上能扩产。
从访谈后看,美国2022年加强DUV管制,荷兰2023年跟上,ASML对华销售比例从2023年的29%掉到2025年的20%。但中国没停步,SMIC用现有浸润式DUV结合多重曝光,2023年量产7nm。起初良率低,但通过迭代优化,2024年功耗降了,产能翻倍。到2025年,7nm芯片已用在AI和5G设备上,中国企业视它为可靠基础,继续打磨而不是急跳5nm。
专家预测的核心是中国会规模化7nm来摊成本,这点实现了。SMIC2025年12英寸晶圆占比高,成熟节点主导市场。本土供应商如北方华创在刻蚀工具上进步,2025年测试7nm线,取代部分进口。企业先建初生产线,再扩产积累经验,避免良率坑。2025年中国半导体市场大,本土设备自给率升,但EUV国产还远,到2030年可能。
全球芯片业从合作变对抗,美国联盟控制EUV,但中国自力更生路径走通。专家说ASML成功靠整合能力和政府支持,中国学这点,国家扶持光刻研发。2024年干式DUV进步,2025年浸润式测试中。7nm优化聚焦低功耗,应用于新能源汽车,推动市场增长。企业垂直整合,提升IP积累,如用RISC-V架构避限制。
访谈强调如果没管制,中国追赶快。现在管制延缓了,但中国通过优化DUV极限,实现5.5nm试点,虽良率低。2025年浙江目标3-7nm突破,本土化趋势强,全球28nm产能大在中国,重塑定价。专家观点在2026年部分验证,中国把7nm当成熟工艺,融入供应链,但5nm规模有限。
中国企业保守,设备未知数多,但资金加速。2023年7nm后,2024年迭代改善热管理,2025年低功耗AI芯片出。本土设备占新建产能半壁,加速部署。SMIC营收稳,7nm用于机器人和云计算。华为路标显示2026年性能有天花板,因制造瓶颈。但本土化巩固,挑战ASML垄断。
专家继续行业分析,推动荷兰教育。访谈到2026年,中国半导体韧性显,市场预计大,本土设备占比升。EUV国产需时间,但7nm优化追赶国际。地缘博弈下,中国路径独特,避免了美国傲慢和德国短视。
全球看,美国能源部联盟确保领先,但中国本土供应链起。专家说ASML收购策略聪明,中国学着来,并购提升能力。
访谈后,荷兰禁EUV从2019,扩到DUV。事件转折,中国加速国产。专家观点启发,技术封锁反推创新。
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